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六氟乙烷
产品描述
参数

 

技术指标

执行标准

单位

用途

 

刻蚀气体、等离子刻蚀

 

六氟乙烷,是一种无色无味不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。熔点-100.6℃,沸点-78.2℃。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。

注意事项:密闭操作,全面通风,贮存于阴凉、通风的库房。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。避免气体泄漏到事情场合空气中。远离火种、热源。应与氧化剂离开存放,切忌混储。搬运时戴好钢瓶宁静帽和防震橡皮圈,避免钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。

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