激光事情物质是混淆气或简单纯气体。由于激光混淆气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的保存将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的消耗，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混淆气组分的纯度有着特殊要求，包装混淆气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，避免污染混淆气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大宗使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
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类 |
混淆器组成/（10-2） |
用途 |
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H2 |
Ne |
Ar |
N2 |
CO2 |
Kr |
F |
Xe |
CO |
HCI |
平衡气 |
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氦氖激光混淆气 |
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2-8.3 |
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He |
用于工业生产，科学研究和国防建设等领域 |
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CO2激光混淆气 |
0.4 |
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13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 |
4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 |
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2.0 4.0 2.0 4.0 |
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主要用于激光加工，如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等 |
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氪氟激光混淆气 |
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5.0 |
10.01-0.2 |
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用于；つさ脊庖约盎Х从Φ攘煊。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 |
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密封束激光气 |
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18.5 |
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3 |
2.5 |
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作研究用的密封束激光气 |
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准分子激光气 |
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25.8 |
9.8 |
0.004 |
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15.02 |
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5.0 |
Ar He He Ar |
准分子激光器用于医疗上的外科手术 |
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